最新资讯广纳四维与EULITHA合作,推进碳化硅光波导量产
广纳四维与EULITHA达成合作,结合碳化硅光学器件与DUV深紫外光刻技术,推进碳化硅光波导的规模化量产及AR眼镜应用。广纳四维引入碳化硅,利用其优异的光学性能及自研工艺,实现纳米级光栅加工,实现全彩显示。EULITHA负责在碳化硅基底上进行高精度图案制备,提高生产效率。此次合作将覆盖光刻、刻蚀、镀膜及组装,目标是进一步推进高性能碳化硅光波导的制造与应用。
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