Meta AR/VR专利提出高光提取效率的Micro LED设计
基于Micro LED的显示系统通过将光从Micro LED发出,经由波导耦合到显示器中来传送图像。基于波导的显示系统的总效率取决于外部量子效率(每个Micro LED的EQE)、光从Micro LED进入波导的耦入效率和光从波导到眼睛的耦出效率。提高Micro LED的效率可能具有挑战性,特别是对于物理尺寸较小的Micro LED,如Micro LED的IQEs、收集LEEs和EQEs可能较低。为了改进收集的光效率,专利申请提出了具有特定结构和宽高比的Micro LED器件,包括半导体平台结构和微透镜。通过改进的结构,可以提高Micro LED器件的收集/总LEE比,从而增加提取光束的准直性。另外,还介绍了混合键合技术,用于将LED芯片或晶圆与集成电路键合,并制造LED阵列。通过键合层和键合方法,可以实现衬底与LED之间的键合,并形成次级光学元件来提取和重定向Micro LED发出的光。该技术还涉及其他相关专利。