（
映维网Nweon
2024年09月23日
）DOE衍射光学元件是一种薄相元件，可通过干涉和衍射来产生理想的光分布。衍射透镜是DOE家族的成员，它除了能够将入射光束衍射成沿不同方向传播的若干束外，同时可以将入射光束汇聚或发散。衍射透镜提供的孔径和焦距与具有连续曲面的传统透镜相当，但厚度更小和重量重量。所以，它是传统透镜的一种前景替代方案。
一块理想的光栅刻线应该等距。但这难以做到。刻线的误差在光栅仪器产生的光谱中以鬼线形式表现出来。
当刻线间隔有周期性误差时，所出现的伪线称为罗兰鬼线。鬼线离母线非常近，在母线两边对称出现。
如果光栅刻线误差是两种周期误差迭加起来的复合误差，则所产生的伪线为离母线非常远的赖曼鬼线。这种鬼线与母线的距离为母线波长的简单的整数分数倍。
衍射光学元件具有母衍射阶和卫星鬼线衍射阶。卫星有两种类型：类似于罗兰鬼线的I型卫星；以及类似于赖曼鬼线的II型卫星。
当在光学设备或光学系统中实现衍射透镜时，具有足够高能量的卫星鬼线可能导致明亮的鬼线图像，降低光学系统的性能。所以，为了确保衍射透镜的卫星鬼线效率保持在预定的范围内，令衍射透镜满足设计规范，需要在相关的光谱范围内测量或确定衍射透镜的卫星鬼线效率。
在一份专利申请中，Meta提出了一种用于测量衍射透镜的卫星鬼线效率的系统。团队表示，发明系统具有成本低、探测灵敏度高、探测效率高、探测精度高等特点，并可用于衍射透镜的批量生产的质量控制过程
在一个实施例中，系统包括配置为输出第一探测光束的光源，以及设置在光源和衍射透镜之间，并配置为将第一探测光束转换为第二探测光束的光束调整组件。其中，第二探测光束为非准直光束。
所述衍射透镜将所述第二探测光束衍射成多个衍射光束，包括具有母衍射阶的第一衍射光束和具有卫星鬼线衍射阶的第二衍射光束。
所述光束调整组件包括一个或多个光学透镜，所述光束调整组件的optical power可调。系统同时包括配置成产生束斑图案的探测器，束斑图案包括与第一衍射光束相对应的第一束斑和与第二衍射光束相对应的第二束斑。
图1A示出衍射透镜的I型卫星鬼线衍射阶数。图1A显示了+1衍射阶（母衍射阶）的光束的光束斑，以及一系列卫星鬼衍射阶的光束的光束斑。与卫星鬼衍射阶相对应的光束斑分布在母衍射阶相对应的光束斑的两侧。I型卫星鬼线的衍射阶占主导地位，它们可以根据一个母星的衍射阶来分类，相对于母星的衍射阶可能具有逻辑空间距离。I型卫星鬼线类似于罗兰鬼线。
图1B示出了II型卫星鬼线衍射阶数。图1B显示了+1衍射阶（母衍射阶）的光束的光束斑，- 1衍射阶（母衍射阶）的光束的光束斑。围绕着每个母衍射阶的是一系列卫星鬼线衍射序列的光束点。II型卫星鬼线衍射阶不具有逻辑空间距离，不按相邻衍射阶进行分类。II型卫星鬼线衍射阶很少观测到，而且常常具有较低的能量效率。II型卫星鬼线衍射序列类似于赖曼鬼线。
当在光学设备或光学系统中实现衍射透镜时，具有足够高能量的卫星鬼线（例如I型卫星鬼线）可能导致明亮的鬼线图像，降低光学系统的性能。所以，为了确保衍射透镜的卫星鬼线效率保持在预定的范围内，令衍射透镜满足设计规范，需要在相关的光谱范围内测量或确定衍射透镜的卫星鬼线效率。
衍射效率是DOE器件在optical power吞吐量方面的表现。当入射光束被DOE衍射为衍射光束时，衍射效率可以定义为DOE输出的衍射光束的optical power与入射光束的optical power之比，即Po/Pi，其中Po为DOE输出的衍射光束的optical power，Pi为入射光束的optical power。
光束的optical power可以由专用optical power计测量，或者可以从配置为检测光束的检测器获得的信号测量。
图1C示出用于测量衍射光栅105的衍射效率的常规系统100。可以设计并制作用于准直光束的光栅105。例如，光栅105以最大的衍射效率衍射基本准直的入射光束，并具有最小的像差和模糊。
如图1C所示，光栅105设置在光源（未示出）和检测器111之间。从光源输出的准直探测光束102向光栅105传播。所述光栅105将所述准直探测光束102衍射为以不同方向向所述探测器111传播的多个光束104-1、104-2和104-3。所述准直光束102具有与所述光栅105的设计波长基本相同的波长。所述探测器111的主动光接收区域具有圆形截面，所述准直探测光束102具有小于所述探测器111的主动光接收区域的尺寸的光束直径。
光栅105为准直探测光束102提供零optical power。所以，衍射光束104-1、104-2和104-3基本准直，并且随着衍射光束104-1、104-2和104-3在空间中传播，相邻衍射光束之间的距离可能逐渐增加。
如图1C所示，在靠近光栅105的近测量平面107，相邻衍射光束104-1、104-2和104-3的光束光斑相互重叠，无法分别测量光束的optical power。所以，不能计算出105光栅在不同衍射阶下的衍射效率。
对于零optical power的光栅105，可以通过增大测量平面到光栅105的距离来解决这一问题。如图1C所示，在距离光栅105较近测量平面107远的远测量平面109，相邻衍射光束104-1、104-2、104-3的光束光斑彼此充分分离，使得布置在远测量平面109的探测器111可以单独识别每个衍射光束104-1、104-2、104-3的光束光斑，并得到各衍射光束104-1、104-2、104-3对应的optical power。
根据探测光束102的optical power和衍射光束104-1、104-2或104-3的optical power，用衍射光束的optical power除以探测光束102的optical power，计算出光栅105在各个衍射阶的衍射效率。
当衍射光束104-1、104-2和104-3包括母衍射阶的光束和一个或多个卫星鬼影衍射阶的一个或多个光束时，通过将与每个卫星鬼线衍射阶对应的衍射光束的optical power除以入射到光栅105的探测光束102的optical power来确定与一个或多个卫星鬼线衍射阶相关的衍射效率。
与图1C中具有零optical power的传统系统100中所示的光栅105不同，衍射透镜是具有非零optical power的衍射光栅，它可以在衍射光束的同时将光束汇聚或发散。由于衍射透镜对入射光束提供的optical power不为零，与母衍阶相关的衍射光束和一个或多个卫星鬼线衍射阶可能混在一起，从而不能通过单独增加测量平面到光栅105的距离来分离衍射阶。
图1D示出使用图1C所示的常规系统100测量衍射透镜155的衍射效率。如图1D所示，对准的探测光束102指向衍射透镜155。所述衍射透镜155将所述探测光束102衍射为以不同方向传播的不同阶数的多个光束154-1、154-2和154-3。
由于非零optical power，衍射透镜155可以在衍射探测光束102的同时将探测光束102汇聚或发散，从而将准直探测光束102的平面波前调制为衍射光束154-1、154-2或154-3的非平面波前。如图1D所示，衍射透镜155对探测光束102进行发散和衍射，衍射光束154-1、154-2和154-3为发散光束，而不是准直光束。如图1D所示，相邻衍射光束154-1、154-2和154-3的光束光斑在近测量平面157和远测量平面159上相互重叠。换句话说，单独增加测量平面到衍射透镜155的距离并不能分离衍射级，所以不能计算衍射级的衍射效率。
当衍射光束154-1、154-2和154-3同时包含母衍射阶和卫星鬼线衍射阶的光束时，卫星鬼线衍射阶的光束可能与母衍射阶的光束混淆或重叠，仅通过增加测量平面到衍射透镜155的距离无法解决这种重叠问题。
所以，衍射透镜155对应的一个或多个卫星鬼线衍射级的卫星鬼线效率不能用常规系统100来确定。
针对这个问题，Meta介绍了基于光束调整技术测量卫星鬼线效率的系统。团队表示，所述系统具有成本低、探测灵敏度高、探测效率高、探测精度高等特点，并可用于衍射透镜的批量生产的质量控制过程。
图2A示出了发明描述系统200的示意图。样品衍射透镜205是用于卫星鬼线效率测试的样品。如图2A所示，所述系统200可以包括光源210、光束调整组件215、检测器220和控制器230。所述系统200可以包括图2A中未示出的附加元件。
样品衍射透镜205可以设置在光束调整组件215和检测器220之间。衍射透镜205可设计和制造用于准直入射光束。例如，衍射透镜205可以以最大衍射效率对准直入射光束进行会聚或发散，并具有最小像差和模糊。光束调整组件215可以设置在光源210和衍射透镜205之间。探测器220可设置在距离衍射透镜205具有预定距离的测量平面235上。
光源210可向光束调节组件215的光输入表面215-1输出第一探测光束202。第一探测光束202可以具有第一光束发散，并且可以在光束调节组件215的光输入表面215-1处具有第一光束直径。光束散度定义了光束在传播距离上的传播范围。光束调整组件215可以被配置为调整第一探测光束202，并输出经调节的第二探测光束204。第二探测光束204可以从光束调整组件215的光输出表面215-2向衍射透镜205传播。
可以配置或控制光束调整组件215的optical power，使得从光束调整组件215输出的第二探测光束204可以是在光束调整组件215的光输出表面215-2处具有第二光束直径的非准直探测光束，并且第二探测光束204可以具有第二光束发散。
因此，当第二探测光束204到达衍射透镜205的光输入表面205-1时，第二探测光束204可在衍射透镜205的光输入表面205-1处具有第三光束直径。
衍射透镜205可将第二探测光束204衍射为多个衍射光束206-1、206-2和206-3，衍射光束以不同的衍射角度向探测器220传播。所述衍射光束206-1、206-2和206-3可以对应于不同的衍射阶。
在测量平面235，衍射光束206-1、206-2和206-3可由探测器220检测为光束点208-1、208-2和208-3。光束调节组件215可由控制器230配置或调整，以将光束点208-1、208-2和208-3中的每个光束点的每个尺寸减小到足够小，并将任何两个相邻光束点208-1、208-2和208-3之间的每个分离距离增加到足够大。
为了讨论目的，在图2A中，假定每个光束点208-1、208-2和208-3具有相同直径的圆形。这样，光束斑208-1、208-2或208-3的大小可以用光束斑的直径来表示，相邻的两个光束斑208-1、208-2和208-3之间的分离距离可以是两个光束斑中心之间的距离。
在一个实施例中，检测器220可以包括单个检测单元。探测器220可以包括排列成阵列的多个检测单元。每个检测单元可以具有配置为接收光并基于接收光产生信号的主动光接收区域。所述主动光接收区域可具有合适的形状。
对于包括单个检测单元的探测器220，探测器220的整个主动光接收区域可以与单个检测单元的主动光接收区域相同。对于包括探测单元阵列的探测器220，探测器220的整个有源光接收区域可以是探测单元的有源光接收区域的总和。
光束点208-1、208-2和208-3可以在测量平面235彼此充分分离，并且每个光束点可以由探测器220的主动光接收区域单独捕获。
由于每个光束光斑完全由探测器220单独捕获，所以可以确定每个衍射光束206-1、206-2、206-3的optical power。因此，可以确定衍射透镜205对于每个卫星鬼线衍射阶的卫星鬼线效率。卫星鬼线效率可以通过将从对应于卫星鬼线衍射阶的衍射透镜205输出的光束的optical power除以入射到衍射透镜205的第二探测光束204的optical power来计算。
各种方法可用于测量衍射光束206- 1,206 – 2,206 -3的optical power。在一个实施例中，系统200可以包括可移动到测量平面235内不同位置的optical power计222，以测量每个光束的optical power。在一个实施例中，可以省略optical power计222，并且可以根据从探测器220接收的信号由控制器230确定每束的optical power。
控制器230可以与光源210、光束调整组件215、探测器220和/或衍射透镜205通信耦合以控制其操作。
在一个实施例中，光源210可以包括与单个激光波长相关联的单个激光光源。激光束可以具有与衍射透镜205的设计波长或操作波长基本相同的波长。光源210可包括与与衍射透镜205的各自设计波长基本相同的多个不同激光波长相关联的多个激光光源，并且系统200可用于测量衍射透镜205在不同设计或操作波长下的卫星鬼线效率。
在到达衍射透镜205之前，第一探测光束202可以向光束调整组件215传播。第一探测光束202可以在光束调节组件215的光输入表面215-1处具有第一光束直径。波束调节组件215可将第一探测波束202转换为第二探测波束204，同时发射第一探测波束202。
在一个实施例中，第二探测光束204可以是非准直探测光束，第二光束直径位于光束调节组件215的光输出表面215-2处。第二探测光束204可具有第二光束发散。第二探测束204的第二光束发散度可以大于第一探测束202的第一光束发散度。
第二探测光束204可以入射到衍射透镜205。如图2A所示，衍射透镜205可具有面向光束调整组件215的光输入面205-1和面向探测器220的光输出面205-2。第二探测光束204可在衍射透镜205的光输入表面205-1处具有第三光束直径。
在一个实施例中，在衍射透镜205的光输入表面205-1处的第二探测光束204的第三光束直径可以小于在光束调节组件215的光输出表面215-2处的第二探测光束204的第二光束直径。衍射透镜205可以将第二探测光束204衍射为从光输出表面205-2向测量平面235传播的衍射光束206-1、206-2和206-3。
在一个实施例中，光束调整组件215可由控制器230配置或调整，以提供与衍射透镜205的optical power相反的optical power。由光束调整组件215和衍射透镜205的组合提供的总optical power的绝对值可以小于预定值。
在一个实施例中，预定值可以部分地由光束调整组件215与衍射透镜205之间的距离、测量平面235与衍射透镜205之间的距离、探测器220的主动光接收区域的大小或探测器220中单个检测单元的主动光接收区域的大小来确定。
在一个实施例中，光束调整组件215可由控制器230配置或调整，以向第一探测光束202提供可变optical power。控制器230可以控制光束调整组件215中包含的一个或多个组件，以改变光束调整组件215的optical power，从而在光束调整组件215的光输出表面215-2处调整第二探测光束204的第二光束直径。
光束调节组件215的optical power可以在控制器230的控制下通过合适的外场进行调节。例如，光束调节组件215可以包括两个透镜，它们之间具有可调节的距离。
第二探测光束204可从光束调整组件215向衍射透镜205传播。衍射透镜205可向第二探测光束204提供optical power，从而使第二探测光束204在衍射第二探测光束204的同时会聚或发散第二探测光束204。在图2A所示的实施例中，光束调整组件215和衍射透镜205显示为通过间隙彼此间隔。
第二探测光束204可以入射到衍射透镜205上。在一个实施例中，如图2A所示，衍射透镜205可具有面向光束调整组件215的光输入面205-1和面向探测器220的光输出面205-2。第二探测光束204可在衍射透镜205的光输入表面205-1处具有第三光束直径。
在一个实施例中，在衍射透镜205的光输入表面205-1处的第二探测光束204的第三光束直径可以小于在光束调节组件215的光输出表面215-2处的第二探测光束204的第二光束直径。衍射透镜205可以将第二探测光束204衍射为从光输出表面205-2向测量平面235传播的衍射光束206-1、206-2和206-3。
探测器220可设置在测量平面235，并可对准衍射透镜205以接收衍射光束206-1、206-2和206-3。在一个实施例中，探测器220可以包括配置为基于接收光产生信号的光学传感器。
在一个实施例中，探测器220可以安装到可移动的支撑结构。可移动的支撑结构可以是框架或臂。可移动支撑结构可配置为沿x轴和y轴方向可平移和/或绕z轴可旋转，使得探测器220可在测量平面235内平移和/或旋转。
在一个实施例中，可移动支撑结构可以沿z轴可平移，以调整作为被测样品的测量平面235与衍射透镜205之间的距离。控制器230可以与可移动支撑结构通信耦合，并且可以控制可移动支撑结构的旋转和/或平移运动。
在一个实施例中，可移动支撑结构可以在一个或多个线性方向可平移，从而在测量平面235内的一个或多个线性方向平移或移动探测器220，例如，如图2A所示的x轴方向和/或y轴方向。所以，可以将探测器220移动到测量平面235内的多个测量位置，以检测衍射光束点208-1、208-2和208-3。
注意，当所述衍射透镜205为反射衍射透镜而非透射衍射透镜时，可以通过改变测量平面235的位置来修改所述系统200的配置，以接收所述衍射透镜205输出的向后衍射光束。在一个实施例中，测量平面235可与衍射透镜205具有预定距离。
在测量衍射透镜205的卫星鬼线效率的过程中，探测器220可以在测量平面235检测衍射光束206-1、206-2和206-的光束斑图237。在所述波束斑图237中，可以由探测器220产生的信号或图像数据表示。在波束斑图237中，波束斑208-1、208-2和208-3可以沿预定方向，例如y轴方向分布。
在一个实施例中，控制器230可以控制探测器220在测量平面235内移动到多个测量位置，以检测光束点208-1、208-2和208-3中的每一个，从而检测光束点图案237。控制器230可以分析光束光斑图案237以获得有关光束光斑208-1、208-2和208-3的尺寸、光束光斑208-1、208-2和208-3的位置、相邻光束光斑208-1、208-2和208-3之间的分离距离等信息。
控制器230可接收来自表示光束斑图237的探测器220的信号或图像数据，并可分析光束斑图237以确定是否可以单独和单独识别光束斑208-1、208-2和208-3。
在一个实施例中，控制器230可以测量任意两个相邻波束点208-1、208-2和208-3之间的每个分离距离，以及每个波束点208-1、208-2或208-3的每个波束点尺寸。控制器230可以确定每个分离距离是否大于第一预定值。控制器230同时可以确定每个波束斑208-1、208-2或208-3的波束斑大小是否小于第二预定值。
根据分析光束光斑图案237的结果，控制器230可以向光束调整组件215发送控制命令或信号，以调整或维持光束调整组件215的optical power。当控制器230确定每个分离距离大于探测器220中检测单元的主动光接收区域的尺寸，并且每个光束光斑尺寸小于探测器220中检测单元的主动光接收区域的尺寸时，控制器230可以停止调节光束调节组件215的optical power。或者，可以向光束调整组件215发送控制命令或信号，以保持光束调整组件215的optical power。
在一个实施例中，控制器230可以通过对光束斑图案237的分析，测量任意两个相邻光束斑208-1、208-2和208-3之间的分离距离，并确定每个分离距离是否大于探测器220中检测单元的主动光接收区域的大小。
当任意两个相邻光束斑208-1、208-2、208-3之间的每一分离距离大于探测器220中检测单元的主动光接收区域的大小时，每一光束斑208-1、208-2、208-3的光束斑大小可自动变小，小于探测器220中检测单元的主动光接收区域的大小。
因此，当控制器230确定至少一个分离距离小于或等于探测器220中检测单元的主动光接收区域的尺寸时，控制器230可向光束调节组件215发送控制命令或信号，以连续调节光束调节组件215的optical power，直到控制器230确定每个分离距离大于探测器220中检测单元的主动光接收区域的大小。
根据确定每个分离距离大于探测器220中检测单元的主动光接收区域的大小，控制器230可以停止调整光束调整组件215的optical power，或者可以向光束调整组件215发送信号或控制命令以保持光束调整组件215的optical power。
在一个实施例中，为了减小光束点208-1、208-2和208-3的尺寸，以及为了增加任意两个相邻光束点208-1、208-2和208-3之间的分离距离，控制器230可以调整光束调整组件215的optical power，从而减小衍射光束204的光束直径，并减小光束点208-1、208-2和208-3的尺寸，以及增加任意两个相邻波束点208-1、208-2和208-3之间的距离。
因此，第二探测光束204在衍射透镜205的光输入表面205-1处的第三光束直径可以调整，亦即可以调整衍射透镜205输出的衍射光束208-1、208-2或208-3的参数。
换句话说，在测量平面235上由衍射光束斑208-1、208-2和208-3形成的光束斑图案237可以调整，使得每个光束斑208-1、208-2或208-3可以由探测器220单独捕获。因此，每个衍射光束206-1、206-2、206-3的optical power可以分别和单独确定/测量/计算。
如果每个光束光斑不是单独和单独可识别的，控制器230可连续实时调整光束调节组件215的optical power，从而实时调整光束光斑图案237中的每个光束光斑尺寸和每个分离距离，直到控制器230确定每个光束光斑尺寸小于探测器220中检测单元的主动光接收区域的尺寸，且每次分离距离均大于探测器220中检测单元的主动光接收区域的大小，即，直到光束光斑能够单独识别为止。
在一个实施例中，控制器230可以基于从optical power计222接收的信号或基于从探测器220接收的信号来确定每个衍射光束206-1、206-2或206-3在测量平面235处的optical power。
基于第二探测光束204的optical power，以及在测量平面235处确定的每个衍射光束206-1、206-2或206-3的optical power，控制器230可以通过将衍射光束的optical power除以第二探测光束204的optical power来确定衍射透镜205对于每个衍射光束206-1、206-2或206-3的衍射效率。
在一个实施例中，基于光束点208-1、208-2和208-3的位置以及测量平面235与衍射透镜205之间的距离，控制器230可以确定衍射光束206-1、206-2和206-3的衍射角度，以及光束206-1、206-2和206-3之间两个相邻衍射光束之间的角间距。
在一个实施例中，基于所确定的衍射透镜205对于每个卫星鬼线衍射阶的卫星鬼线效率，以及每个衍射阶206-1、206-2和206-3的衍射角，控制器230可以确定衍射透镜205的卫星鬼线效率是否满足卫星鬼线效率判据，或者衍射角是否存在不规则性。
例如，卫星虚影效率准则可以是卫星虚影效率小于预定值。这样的信息可用于改进衍射透镜205的批量生产中的质量控制。在一个实施例中，控制器230可以对卫星衍射效率测量进行分析，以确定并为衍射透镜205在批量生产中的产品质量控制提供指导。例如，所述指导可包括调整用于制造所述衍射透镜205的材料的组成，以及调整所述衍射透镜205的结构以实现低卫星鬼线效率。
Meta表示，与采用准直光束作为探测光束用于测量衍射透镜的卫星鬼线效率的传统系统（图1C）相比，发明描述系统200可以采用专门设计或配置的非准直光束，在衍射透镜205的光输入表面205-1处具有合适的光束发散度和合适的光束直径，以作为用于测量衍射透镜205的卫星鬼线效率的探测光束。
尽管牺牲了探测光束的一定准直量，但通过光束调整组件215，系统200实现了衍射透镜205的卫星鬼线效率的灵活可测量性。
Meta强调，发明所示系统具有成本低、检测灵敏度高、检测精度高、检测可靠性高的特点。
另外，光束调整组件215可以设置在衍射透镜205的前面和光源210与衍射透镜205之间。可以控制光束调整组件215以向第一探测光束202提供optical power。因此，光束调整组件215可以为衍射透镜205的所有感兴趣的衍射阶提供相同的optical power。
在传统的系统中，在测试样品的后面和测试样品和检测器之间设置一个单重透镜。在这种传统配置中，需要针对每个衍射阶单独调整单线透镜的位置或optical power，将每个衍射阶重新聚焦到一个测量平面上，既耗时又低效。
由于系统200将光束调整组件215设置在衍射透镜205的前面，这降低了系统200的测量复杂性，简化了操作，提高了检测效率。
图2B示出了当控制器230控制光束调整组件215以提供第一optical power时，在测量平面235处的光束光斑图案257。图2B显示，波斑259a-259f具有基本相同的波斑尺寸，且相对于波斑258而言，波斑尺寸相对较大。第一系列波束点259a-259c中任意两个相邻波束点之间的间隔距离较小，第二系列波束点259d-259f中任意两个相邻波束点之间的间隔距离同样较小。
图2C示出当控制器230控制光束调整组件215以提供第二optical power，从而减小第一系列和第二系列中的光束光斑的尺寸时，测量平面235处的光束光斑图案267。图2C显示，波束斑259a-259f具有基本相同的波束斑尺寸，与图2B所示波束斑图257中波束斑259a-259f的波束斑尺寸相比减小了。
由于束斑尺寸的减小，与图2B所示的分离距离相比，第一束斑系列259a-259c中两个相邻束斑之间的分离距离相对较大。与图2B所示的分离距离相比，第二束斑系列259d-259f中任意两个相邻束斑之间的分离距离相对较大。
即，由于控制器230控制光束调节组件215以提供第二optical powe，在第一系列光束光斑259a-259c和第二系列光束光斑259d-259f中的每一个中，与图2B所示的光束光斑图案257中的光束光斑大小相比，单个光束光斑的光束光斑大小可以减小。因此，两个相邻波束点之间的分离距离会增加。
图2D示出了当控制器230控制光束调整组件215以提供第三optical power时，在测量平面235处的光束光斑图案287。从第二optical power到第三optical power的变化可以与从第一optical power到第二optical power的变化趋势方向相同。
与图2C相比，在图2D所示的波束斑图287中，第一系列波束斑259a-259c的波束斑尺寸变化不明显，而第二系列波束斑259d-259f的波束斑尺寸明显增加，导致259d-259f波束斑重叠在一起。因此，尽管波束点259a-259c依然可以由探测器220单独识别，但波束点259d-259f可以不被探测器220单独识别。在这种情况下，将光束调节组件215的optical power调整到最优值，可以获得类似于图2C所示的光束光斑图，其中母级两侧卫星级的光束光斑大小基本相等。这样就可以测量卫星序列的卫星鬼线效率。
图2B-2D表明，为了使第一系列波束点259a-259c和第二系列波束点259d-259f中的大多数卫星鬼线分别和单独可识别，波束调整组件215的最佳optical power可存在于某一值。在最佳optical power下，第一系列光束光斑259a-259c的光束光斑尺寸与第二系列光束光斑259d-259f的光束光斑尺寸可以基本相等。
相关专利
：
Meta Patent | System and method for measuring satellite ghost efficiency of diffractive lens
名为“System and method for measuring satellite ghost efficiency of diffractive lens”的Meta专利申请最初在2022年12月提交，并在日前由美国专利商标局公布。